特定工廠用地計畫審查需提交多項文件，包括申請表、土地使用計畫、廢水排放計畫、營運管理計畫等。申請人需自我檢核文件齊全度，並勾選檢核表相關欄位。審查過程中，各單位需進行實地會勘，確認用地計畫內容。最終核定用地計畫並發放相關證明文件。申請人需留意環保法規及回饋金繳納等要求。
特定工廠用地計畫審查應檢附文件，「特定工廠提送用地計畫應備文件自我檢核表」中列出了以下項目，申請人應勾選「自我檢核(勾選並填寫頁碼)」欄位，以確保文件齊備：
基本文件
- 特定工廠申請變更編定為特定目的事業用地申請表。
- 基地條件及鄰近環境概況（包含鄰近道路系統、申請面積及土地清冊、毗連土地目前使用現況等）
- 土地使用計畫（包含土地使用項目、隔離綠帶或設施規劃、道路退縮情形、使用強度計算、停車位規劃及景觀計畫等）
- 土地使用編定（包含變更前後土地使用編定）
- 廢（污）水排放計畫（包含排放措施說明、應取得排放（注）或附掛許可文件等及放流口標示等）
- 拆除計畫（說明拆除位置、面積、及拆除時機）
- 營運管理計畫（包含計畫期程、預期效益、回饋金繳納機制、太陽能光電設備規劃等）
- 農業用地變更說明書（包含變更後之相關影響、減輕影響之因應設施、變更之必要性、合理性及無可替代性等）
- 最近三個月內核發之電子謄本及地籍圖
- 特定工廠登記文件影本
- 產品製造流程圖
- 土地變更編定同意書（應檢附土地所有權人變更編定同意書，如為公有土地應取得土地管理機關同意文件）
- 有效期限內環境敏感區位查詢結果及農產業群聚地區查詢結果
- 地形測量圖
- 建築線指示（定）圖
- 經建築師簽證、並含防火間隔之廠區建物配置圖
- 排放或排注許可文件
特定條件文件
- 架設橋樑通行同意/道路通行切結書（土地間有水路或道路相隔者，申請人需架設橋樑通行(應取得所有權人或管理機關同意文件)；道路部分，申請人應於計畫書內切結，不得妨礙或影響原有通行功能）
- 隔離綠帶或設施拆除切結書（無申請隔離綠帶或設施上既有建築物於使用執照前一併拆除者，免附）
- 回饋金分期繳納切結書（無申請回饋金分期繳納者，免附）
- 無法裝設屋頂型太陽光電發電設備證明文件（已規劃裝設屋頂型太陽光電發電設備者，免附）
- 環保法規應檢送之計畫、評估調查檢測資料或取得有效之各項許可文件 (非屬環保法規認定應檢附者，免附)
- 環境影響評估核定文件（非屬「開發行為應實施環境影響評估細目及範圍認定標準」第 3 條認定，應實施環境影響評估者)，免附）
- 水土保持完工證明文件（非屬山坡地經認定須擬具水土保持計畫者，免附）
- 用水計畫或計畫核定文件（非屬用水量達 300 立方公尺/日以上者，免附）
以上文件僅供參考，實際應備文件仍應依據「特定工廠申請變更編定為特定目的事業用地審查辦法」等相關規定辦理。
重點整理
- 提交特定工廠申請變更編定為特定目的事業用地申請表。
- 提交基地條件及鄰近環境概況。
- 提交土地使用計畫，包括隔離綠帶規劃等。
- 提交廢（污）水排放計畫及拆除計畫。
- 提交營運管理計畫及農業用地變更說明書。
- 提交最近三個月內核發之電子謄本及地籍圖。
- 提交特定工廠登記文件影本及產品製造流程圖。
- 提交土地變更編定同意書及環境敏感區位查詢結果。
- 提交地形測量圖及建築線指示（定）圖。
- 提交經建築師簽證之廠區建物配置圖及排放許可文件。
- 提交特定條件文件，如橋樑通行同意、隔離綠帶拆除切結書等。
特定工廠用地計畫審查需要詳細的文件準備和多階段的審查流程。業者應確保所有必需文件齊全，並符合相關法規要求，以提高申請通過率。建議業者在準備和提交申請文件時，可尋求光多工商顧問協助，以確保文件齊全並符合要求。同時，應密切關注相關法規和政策變動，確保用地計畫的合法性和可行性。
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